解忧电池片钝化层划痕困扰
摘要：电池片背面钝化层沉积工序，面临着划痕对AL2O3钝化层损伤的困扰，对电池片转换效率的提高产生了不良影响。分析产生划痕的主要因素，通过试验加以工艺验证，最后提出解决划痕的有效办法。引言电池片背面钝化层
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摘要：电池片背面钝化层沉积工序，面临着划痕对AL2O3钝化层损伤的困扰，对电池片转换效率的提高产生了不良影响。分析产生划痕的主要因素，通过试验加以工艺验证，最后提出解决划痕的有效办法。引言电池片背面钝化层